洁净厂房内各洁净室的空气洁净度等级应满足生产过程对生产环境的洁净要求。无尘车间的洁净室应根据空气洁净度等级的不同要求，采用不同的气流模式。
洁净室、无尘车间的压差规定必须满足一定的要求：
1、无尘车洁净室区域周围空气必须保持一定的压差，并根据工艺要求确定是保持正压差还是负压差。不同级别粉尘车间洁净室之间的压差不应小于5Pa，洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa，洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa，室外不应低于10Pa。
2、洁净室维持不同压差值所需的压差风量应根据洁净室的特点采用间隙法或换气法确定。
3、送风、回风、排风系统的启闭应联锁。正压无尘车间洁净室的联锁顺序应先启动送风风机，后启动回风风机和排风机；关闭时，联锁程序应相反。
4、负压无尘车间的洁净室联锁方案应与上述正压洁净室相反。对于非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求设置值班送风，并进行净化和空调处理。
